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流量開關(guān)在還原爐冷卻水中的應(yīng)用

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多晶硅還原爐冷卻水管路中的的流量開關(guān)應(yīng)用



多晶硅還原爐冷卻對于現(xiàn)場安全至關(guān)重要,如不能及時對冷卻水進(jìn)行監(jiān)控,將引起氫氣泄漏,引起爆炸。熱式流量開關(guān)根據(jù)其產(chǎn)品特點(diǎn)——無可動部件,全不銹鋼材質(zhì),防護(hù)等級高可全面滿足化工行業(yè)尤其是在冷卻水或是潤滑油路上,是大多數(shù)化工企業(yè)常用的開關(guān)類儀表!


多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進(jìn)氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進(jìn)水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進(jìn)水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進(jìn)水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成,爐體主體采用不銹鋼材質(zhì)。


熱式流量開關(guān)在多晶硅還原爐水冷卻中的應(yīng)用


還原爐里面是用純的氫氣以及三氯氫硅,在1100°條件左右進(jìn)行反應(yīng),生成的硅沉積在硅棒表面,慢慢的生長,一般都要72小時以上時間不間斷的供料供電。爐壁式夾層,用循環(huán)水進(jìn)行冷卻。


危險系數(shù)極高,主要體現(xiàn)在以下幾個方面:

1、冷卻水供應(yīng)不上燒壞爐壁,濺落爐內(nèi)造成爆炸;

2、電極和視鏡是整個還原爐最脆弱的地方,一定要保證冷卻水;

3、氫氣可能泄露,引起爆炸;

熱式流量開關(guān)

比利科技優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品-熱式流量開關(guān)


熱式流量開關(guān)工作原理:


基于熱式原理,在封閉的探頭內(nèi)包含兩個電阻,其中一個被加熱作為探測電阻,另一個未被加熱作為基準(zhǔn)電阻,當(dāng)有介質(zhì)流動時,感熱傳感器所接收到的熱量將隨介質(zhì)的流速變化而變化,感熱傳感器將這溫差信號轉(zhuǎn)化成電信號,在流速達(dá)到某設(shè)定點(diǎn)時,熱式流量開關(guān)輸出開關(guān)量信號。


熱式流量開關(guān)原理圖

熱式流量開關(guān)原理圖


熱式流量開關(guān)特點(diǎn):


無活動部件,免維護(hù)。

安裝方便,一種型號適用于多種管徑要求。

開關(guān)量連續(xù)調(diào)節(jié),極低的壓力損失。

結(jié)構(gòu)緊湊,LED顯示流動趨勢及開關(guān)狀態(tài)。



熱式流量開關(guān)技術(shù)參數(shù)


插入式設(shè)定范圍

1---150cm/s(水)3---300cm/s(油),20---2000cm/s(空氣)

信號輸出

PNP、NPN、繼電器

供電

24V±20%DC

接通電源

最大400mA(PNP或NPN型)最大1A@36VAC/DC(繼電器型)

空載電流

最大80mA

設(shè)定方式

電位器設(shè)定

耐壓范圍

100bar

介質(zhì)溫度變化

≤4℃/s

響應(yīng)時間

1…13s,典型值2s

初始化時間

約8s

電氣保護(hù)

反相,短路,過載保護(hù)

防護(hù)等級

IP67

介質(zhì)溫度

-20…90℃ 環(huán)境溫度:-20…80℃  儲存溫度:-20…80℃

材質(zhì)

探頭:不銹鋼,   外殼:不銹鋼/鑄鋁

測量精度

±2%