多晶硅還原爐冷卻水(shui)管路中的的流量開關應用

多(duo)晶硅還原爐冷(leng)卻對于現場安全至關重要(yao)，如(ru)不能及(ji)時對冷(leng)卻水(shui)進行(xing)監控，將引起氫(qing)氣泄漏，引起爆(bao)炸。熱式流(liu)量開(kai)關根據其產(chan)品(pin)特點——無(wu)可(ke)動部(bu)件(jian)，全(quan)(quan)不銹鋼材質，防護等級(ji)高可(ke)全(quan)(quan)面滿足化工行業(ye)尤其是在(zai)冷卻水或是潤滑油路上，是大多數化工企業(ye)常用的開關類儀表(biao)！

多晶硅(gui)還(huan)原爐(lu)主要(yao)由底盤、含(han)夾套冷(leng)卻水(shui)(shui)(shui)(shui)的(de)鐘(zhong)罩式雙層爐(lu)體、電(dian)(dian)極、視鏡孔、混和(he)氣(qi)(qi)進(jin)氣(qi)(qi)管(guan)(guan)、混和(he)氣(qi)(qi)尾氣(qi)(qi)出氣(qi)(qi)管(guan)(guan)、爐(lu)體冷(leng)卻水(shui)(shui)(shui)(shui)進(jin)水(shui)(shui)(shui)(shui)管(guan)(guan)、爐(lu)體冷(leng)卻水(shui)(shui)(shui)(shui)出水(shui)(shui)(shui)(shui)管(guan)(guan)、底盤冷(leng)卻水(shui)(shui)(shui)(shui)進(jin)水(shui)(shui)(shui)(shui)管(guan)(guan)、底盤冷(leng)卻水(shui)(shui)(shui)(shui)出水(shui)(shui)(shui)(shui)管(guan)(guan)、電(dian)(dian)極冷(leng)卻水(shui)(shui)(shui)(shui)進(jin)水(shui)(shui)(shui)(shui)管(guan)(guan)、電(dian)(dian)極冷(leng)卻水(shui)(shui)(shui)(shui)出水(shui)(shui)(shui)(shui)管(guan)(guan)及其他(ta)附屬部件(jian)組成(cheng)，爐(lu)體主體采用不銹鋼材質(zhi)。

熱式流量(liang)開關在多晶硅(gui)還原爐水冷卻(que)中的應(ying)用

還原爐里面是用(yong)純的氫氣以及(ji)三氯氫硅，在1100°條件左右進行反應，生成的(de)硅沉(chen)積(ji)在硅棒表面，慢(man)慢(man)的(de)生長，一般都(dou)要72小時(shi)以(yi)上(shang)時(shi)間不間斷(duan)的供(gong)料供(gong)電。爐(lu)壁式夾層，用(yong)循環水(shui)進行(xing)冷卻。

危險系數極高，主要體現在以下幾個方面：

1、冷卻水供(gong)應不上(shang)燒壞爐壁，濺(jian)落(luo)爐內造成(cheng)爆(bao)炸；

2、電極(ji)和視(shi)鏡是整個還原爐最(zui)脆(cui)弱的(de)地方，一(yi)定要保證冷卻水；

3、氫氣可能(neng)泄露，引(yin)起(qi)爆炸；

比利科技優質產(chan)品-熱(re)式流(liu)量開關

工(gong)作原(yuan)理(li)：

基于熱(re)式原理,在封閉的(de)探頭(tou)內(nei)包含(han)兩個電阻(zu)，其中一個被加熱(re)(re)作為探測(ce)電阻(zu)，另一個未被加熱(re)(re)作為基準電阻(zu),當(dang)有介質流(liu)(liu)(liu)動(dong)時，感(gan)熱傳感(gan)器(qi)所接(jie)收到(dao)(dao)的熱量(liang)將(jiang)隨介質的流(liu)(liu)(liu)速變(bian)化(hua)而變(bian)化(hua)，感(gan)熱傳感(gan)器(qi)將(jiang)這溫差信(xin)號(hao)轉化(hua)成電信(xin)號(hao)，在流(liu)(liu)(liu)速達到(dao)(dao)某(mou)設定(ding)點時，熱式流(liu)(liu)(liu)量(liang)開關輸出(chu)開關量(liang)信(xin)號(hao)。

熱式流量開關原理圖

關(guan)特點(dian)：

無活動(dong)部件(jian)，免維護。

安裝方便(bian)，一種型號適(shi)用于多種管徑要求。

開關量連續調節(jie)，極低的壓力損失。

結構緊湊，LED顯示流動趨勢及開關狀態。

技(ji)術參(can)數